本文標題："晶片表面都會附著許多有機油脂及灰塵"

晶片表面都會附著許多有機油脂及灰塵

光波導制作

1.晶圓的清潔

鈮酸鋰晶片表面都會附著許多有機油脂及灰塵，因此都

須要經過一連串的清洗步驟，方能開始其它制程，有機油漬之去除，可使

用三氯乙烷、丙酮、甲醇、去離子水等依序清洗首先，以三氯乙烷除去晶

片上之有機污染，再以丙酮洗去殘留之三氯乙烷及水溶性污染物，隨后以

甲醇除去殘留之丙酮，后以去離子洗去甲醇，并將晶片置于 90℃烤箱中

烤去殘留水份

蒸鍍鈦金屬

完成晶圓清潔之后我們將鍍上欲擴散的鈦金屬，擴散理論中我們知道完全擴散時間與鈦金屬厚度有關，

然而鈦金屬在蒸鍍時不同

的條件其緻密性亦有所不同對完全擴散時間也有所影響，所以在這一層鈦

金屬的蒸鍍我們力求穩(wěn)定

光波導的黃光制程

我們采用蝕刻法來形成光波導圖樣。由于我們使用+Z 切晶圓，光波導在 Y

方向，我們可知晶圓之晶體方向，所以在曝光對準時須以晶圓之

切邊記號為基準，大切邊在左小切邊在下并且使光波導與大切邊垂直對準

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晶片表面都會附著許多有機油脂及灰塵,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應