本文標(biāo)題："聚焦光點(diǎn)大小為 7.0μm，數(shù)值孔徑為 0.05"

八階微透鏡之討論

在第二章我們所設(shè)計(jì)的八階微透鏡之規(guī)格為適用波長在 0.632

µm，直徑為 72.4µm，焦距為 800µm，蝕刻深度為 1.26µm，

聚焦光點(diǎn)大小為 7.0µm，數(shù)值孔徑為 0.05

我們將制作后之八階微透鏡的

量測結(jié)果：元件的直徑為 72.4µm，蝕刻深度為 1µm，蝕刻誤差比為

0.77 代入公式(9)及公式(11)以及公式(14)，我們即可得到第二章的理

論部分經(jīng)由 RIE 蝕刻有誤差時(shí)，所制成的八階微透鏡將變成焦距為

1040µm 以及聚焦光點(diǎn)為 9µm 及數(shù)值孔徑為 0.03。

經(jīng)由云紋干涉法計(jì)算的干涉條紋的結(jié)果代入公式(12)，得知八階

微透鏡的焦距為 750µm﹔但由于透鏡圖形的單位條紋數(shù)不夠多，所

以焦距的量測結(jié)果誤差范圍也會(huì)變大從 620µm∼1100 µm。我們可利

用公式(14)計(jì)算出八階微透鏡之?dāng)?shù)值孔徑為 0.03(D= 72.4 µm﹔

f=1100µm)∼0.06(D=72.4µm﹔f=620µm)。在利用公式(11)算出八階微

透鏡之聚焦光點(diǎn)為 5µm(NA= 0.06)~11µm(NA=0.03)

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聚焦光點(diǎn)大小為 7.0μm，數(shù)值孔徑為 0.05,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)