本文標(biāo)題："長、短焦距皆可量測。缺點(diǎn)是元件的尺寸太小"
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使用云紋干涉
法所得到的焦距其精準(zhǔn)度仍然不足，以致無法精確測得因蝕刻誤差
所造成焦距的改變，原因是用云紋干涉法量測八階微透鏡時(shí)，不易
分辨出移動(dòng)微透鏡前后的干涉條紋變化，因此造成所量測的結(jié)果會(huì)
有很大的誤差
云紋干涉法
云紋干涉法的架設(shè)量測系統(tǒng)如圖 4-10 所示，使用的光源為氦氖
雷射，將雷射光導(dǎo)入物鏡與透鏡以建立準(zhǔn)直均勻之光束，一半光源
打在光柵(grating)上，一半打在平面鏡上，而光柵與平面鏡之間的夾
角為 90 度角，再調(diào)整平面鏡使其有一個(gè)傾斜角α，此時(shí)兩道光源會(huì)
加以干涉形成一束干涉條紋光，用電荷耦合元件來擷取干涉條紋
之后在此干涉條紋光源上放置欲量測的透鏡，會(huì)得到另一種干涉條
紋，在光軸上前后移動(dòng)量測的透鏡±ε的距離，又會(huì)得到第二種干涉
條紋，用此三種干涉條紋結(jié)果即可計(jì)算出此透鏡的焦距。對(duì)長焦距
而言，擷取焦距內(nèi)的干涉條紋[26]﹔對(duì)短焦距而言
云紋干涉法對(duì)于長、短焦距皆可量測。缺點(diǎn)是元件的尺寸太小，
便無法判斷干涉條紋的變化，也就無法精準(zhǔn)地算出其焦距﹔所以我
們要將這種方法加以修正以便得到較密的干涉條紋(如圖 4-11)。我
們所設(shè)計(jì)的八階微透鏡由于尺寸太小，對(duì)于原先的方法無法分辨出
移動(dòng)前后的干涉條紋變化，所以要用改良后的干涉方法量測八階微
透鏡
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長、短焦距皆可量測。缺點(diǎn)是元件的尺寸太小,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
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