本文標題："電子顯微鏡觀察微分電容影像與表面形貌影像"

電子顯微鏡觀察微分電容影像與表面形貌影像

電性掃描探針顯微術(shù)為納米級的電性量測分析技術(shù)，其肇始與技術(shù)研發(fā)皆源自于納米電子與光電產(chǎn)業(yè)的強烈需求，

但其分析結(jié)果卻因光擾效應的存在而導致極大的量測不確定度，為建立同步觀察微分電容影像與表面形貌影像之納米電性分析技術(shù)，

電性掃描探針顯微鏡的光擾問題提出一項解決方案，更進一步的意義在于使用者可以經(jīng)由功能性探針的選擇，

發(fā)現(xiàn)新的物理現(xiàn)象與避免儀器設(shè)備所產(chǎn)生的應用限制，對于目前世界上許多已經(jīng)擁有電性掃描探針顯微鏡的使用者而言，

采用前翼懸臂導電探針以避免光擾問題所帶來的困擾是相當經(jīng)濟且實際的作法。

此外，光擾問題的發(fā)現(xiàn)，亦使儀器設(shè)備商意識到發(fā)展納米技術(shù)與追尋納米訊號的同時，仍不可忽略習知的物理知識。

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