怎樣徹底清除表面的粒狀物質(zhì)光學顯微鏡
由于表面普遍存在粒子污染,所以凈化問題急需解決。其原因是對電子器件所需潔凈度,以及怎樣徹底清除粒子的技術了解甚少,只認為這是一般的間題。 雖然有了高效過濾器,并在沽凈室的設計中得到了應用,但是,要使表面完全沒有灰塵或其它粒狀物質(zhì),實際上這是不可能的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天,在顯微鏡黑色管簡上也能粉到粒狀物質(zhì)。同樣,將硅片在標準罩內(nèi)存放一星期,由于選擇性的粒子污染,硅表面出現(xiàn)了鈉原子。 清除表面粒子可用兩種方法:用壓縮空氣吹;用水或隋性溶劑快速沖洗。清除這種粒狀物質(zhì)的難度,與日常清掃汽車相似。即使高速行駛,汽車表面的粒狀物質(zhì)也只是小部分被“吹掉”。或許這種比喻不怎么恰當,因為在汽車表面沉積了一層趨于增加粘附力的有機膜,當然在硅片.上也是沉積了一層有機膜。如果有人想用軟管的水流(沒有肥皂的)洗掉汽車上的塵土,那么經(jīng)驗說明,即使水流壓力再高也達不到目的的。 使顆粒與基片產(chǎn)生所謂粘附的究競是些什么力呢?對引起粘附的力可以進行理論上的探討。
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