電子器件制造中表面潔凈度應(yīng)符合什么標(biāo)準(zhǔn)
把表面潔凈方面的這些缺點(diǎn)限制到很小程度或者消除掉,那么就可以通過(guò)這些表面測(cè)定出不同晶面的光電性質(zhì)、氧化邊度,以及材料的表面電性能,特別是與半導(dǎo)體性能有關(guān)的這些性質(zhì)。 關(guān)于表面潔凈度等級(jí)應(yīng)有的篆本原則,法士沃茨認(rèn)為:“絕對(duì)的表面凈化是不可能的,對(duì)多數(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō),只要表面污染減至小限度,后沒(méi)有明顯的影響就行了。”這就或多或少為電子器件制造中所用凈化加工奠定了工藝基礎(chǔ)。表面潔凈度應(yīng)符合以下兩條標(biāo)準(zhǔn):(1)必須滿足下道工序的要求;(2)必須保證器件或設(shè)備更加可靠。
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