在抽真空的真空系統(tǒng)內(nèi)離子轟擊與加熱實驗
離子轟擊與加熱 將試樣放在抽真空的真空系統(tǒng)內(nèi),在低壓(常為10托)下烘烤,將隋性氣體,常常是氬送入真空系統(tǒng),使得真空系統(tǒng)的壓力上升到10-3--10-4托。而后,離子以幾百伏的加速電壓和密度為10-100微安/平方厘米的離子流轟擊試樣。 轟擊的結(jié)果是晶格也出現(xiàn)損傷,晶格原子脫位,氬離子與表面相互作用。因而此法的另一組成部分是高溫退火,目的為放出氬,消除晶體缺陷。 該處理的凈化結(jié)果是去掉表面的幾個原子層,使呈現(xiàn)出新鮮、干凈的表面層。電子衍射發(fā)現(xiàn),這種表面覆蓋單層的外來原子不到5%。熔點低到600℃的材料采用這種凈化方法是成功的。
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