對測量氣體粒徑小于0.3微米的兩種儀器評述 雖然顯微鏡檢臉產(chǎn)品或過濾面是測量粒子污染有效的方法,但是,如不采用自動化,這些方法就既縈瑣,又浪費時間。光故射粒子計數(shù)器的研制成功使瞬時測試成為可能,氣體的物質(zhì)粒子含量降到0.3微米,液體降到2微米。當(dāng)然,由這類儀器所取得的表面潔凈度的資料是第二手的。 可以這樣假設(shè):如果產(chǎn)品只是在潔凈環(huán)境中暴蜷,那么,從該環(huán)境落到產(chǎn)品表面的粒子數(shù)為零。連續(xù)監(jiān)視產(chǎn)品周圍環(huán)境,對引起產(chǎn)品表面污染的環(huán)境潔凈度進(jìn)行瞬時識別。光散射粒子計數(shù)器可對長時間特定位置作連續(xù)自動監(jiān)視。所得數(shù)據(jù)的分析只是一項必要工作。由于光散射粒子監(jiān)視器很近要,并且應(yīng)用廣泛,所以將詳細(xì)地討論這類設(shè)備。
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