特定X射線的強(qiáng)度與試樣元素含量以及從純?cè)貦z測(cè)
與X射線熒光分析二次激發(fā)熒光相反,電子微探針分析器是利用電子轟擊直接激發(fā)。在直接轟擊中,如果轟擊電子有足夠能址,以激發(fā)某一元素A的特定X射線的話,那么,在樣品區(qū)域被激發(fā)元素A的原子數(shù)與該區(qū)域元素A的原子數(shù)成正比。 在特定束流條件下,作為一次近似而言,被激發(fā)體積與其平均密度的乘積包括同一質(zhì)量或原子數(shù)量,但與其成份無關(guān)。這種情況的產(chǎn)生,是由于電子的阻滯作用(與電子密度有關(guān))和電子反向散射之間具有相反的效應(yīng),并有互相抵消的趨勢(shì)所造成, 利用儀器的穩(wěn)定工作狀態(tài)可知,特定X射線的強(qiáng)度與試樣元素含量以及從純?cè)厝〉玫男盘?hào)成正比。電子微探針分析比用X射線熒光分析或光學(xué)輻射光譜分析所取得的信號(hào)強(qiáng)度與材料濃度之間具有更好的線性關(guān)系。偏離線性的大小可以從理論上計(jì)算,從而提高精度的數(shù)量級(jí)。通過大量工作,產(chǎn)生了若干用以獲得較好數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)方法,這些數(shù)據(jù)是由吸收和熒光校正而取得。
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