本文標題："討論幾種類型的顯微技術(shù)及其在微電子產(chǎn)品"

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討論幾種類型的顯微技術(shù)及其在微電子產(chǎn)品

顯微技術(shù)
    討論幾種類型的顯微技術(shù)及其在微電子產(chǎn)品污染檢驗
方面的應(yīng)用。顯微技術(shù)在了解器件結(jié)構(gòu)及污染的內(nèi)在關(guān)系方面已
成為一種強有力的檢驗技術(shù)。它可以在微米級范圍內(nèi)觀察器件表
面存在的物體。各種顯微儀器可歸并為兩類:一類是在整個焦平
面內(nèi)同時顯像;另一類則是用被聚焦的點在指定區(qū)域內(nèi)運動而產(chǎn)
生圖像。光學(xué)顯微鏡和透射式電子顯微鏡都屬于同時顯象一類，
這里將首先加以討論。
光學(xué)顯微鏡
    照明光學(xué)
    光學(xué)顯微鏡是一種能迅速全面地觀察缺陷和雜質(zhì)粒子的工
具。用這種顯微鏡觀察雜質(zhì)粒子，往往直接就識別了，并可找出粒
子和缺陷間的關(guān)系及其產(chǎn)生的原因和效應(yīng)。反射式和透射式照明
系統(tǒng)在光學(xué)顯微鏡中都能使用。
    光學(xué)顯微鏡具有一連串的透鏡:聚光鏡、物鏡和目鏡。在反射
式照明系統(tǒng)中，物鏡還兼有聚光鏡的作用。不論是反射光，還是透
射光都有幾種照明形式:即亮視場、暗視場、偏振光、相位反差以及
干涉反差等。

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