數(shù)據(jù)儀器檢測污染對金屬封裝晶體管內(nèi)氣體環(huán)境影響
儀器的基底一般是由水蒸氣,軾.氮、二氧化碳和共同的氣體所組成,這就必然換害儀器的靈敏度。含氧大于10%的試樣通過氧化作用擊穿探測器,使水燕氣優(yōu)先吸附在質(zhì)講儀的內(nèi)壁,因而在系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生了持久的基底壓力。 應(yīng)用實例氣體質(zhì)譜儀首先用于金屬封裝晶體管內(nèi)氣體環(huán)境特性的分析。金屬封裝容認(rèn)小(通常在1 IAA米a下),只有少址氣體能作分析。以器件為試樣,放在有針孔眼的真空夾具內(nèi),在真空下打開器件,然后將來自密封裝TL的氣休向試樣室擴(kuò)大。在不同期間,器件障礙與過多的氫、碳x化合物以及水蒸氣都有關(guān)系,有時出現(xiàn)不明顯的雜質(zhì),例如有機殘渣或沒有完全清洗的電鍍零件。如果氣體本身污染了,或者是品體管內(nèi)其它污源間接引起了污染,則必須連同其它已知數(shù)據(jù)檢測氣體的污染。
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