本文標(biāo)題："復(fù)雜的電路設(shè)計(jì)交迭是薄膜電路互連圖形的總連接"

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復(fù)雜的電路設(shè)計(jì)交迭是薄膜電路互連圖形的總連接

    一個(gè)薄膜導(dǎo)體跨過另一個(gè)薄膜導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)稱為“交迭”，(圖
1-7a)。交迭是薄膜電路互連圖形的總連接，所以在所有較為復(fù)雜
的電路設(shè)計(jì)中都需要用到它。在貝爾系統(tǒng)中，采用梁式交迭(圖
1-7b)和針式鍵合交迭(圖1--7o)。金片用于梁式交迭，金線用于
針式鍵合文迭。
    制造梁式交迭要求各種技術(shù)，從光刻工藝到高質(zhì)般鍍銅和鍍
金工藝，交迭的存活率必須達(dá)到99.95-99.99%，才能保證含有
4000個(gè)交迭的電路獲得大約70-80%的電路存活率。為了達(dá)到
這樣高的存活率，對(duì)污染必須嚴(yán)格控制。例如，鍍銅和鍍金用的電
鍍槽必須經(jīng)常過濾，鍍件表面必須嚴(yán)格清洗，不讓任何塵粒沽在鍍
件表面而造成電鍍?nèi)毕?。針式鍵合交迭通常用在只有幾個(gè)交迭的
場(chǎng)合，并且要有良好的鍵合技術(shù)和清潔的鍵合表面，才能保證粘著
質(zhì)量。
      電阻
    用作薄膜電限的材料很多，但是通過濺射技術(shù)把鉭和氮化鉭
淀積在適當(dāng)?shù)囊r底上適合千貝爾系統(tǒng)的需要(圖1-7d和的。氮
化鉭在空氣中比鉭更加穩(wěn)定，因而是優(yōu)先選用的材料。兩種電阻
膜的溫度系數(shù)和阻值都可以用把氧或鋁摻雜到鉭或氮化鉭里的方
法加以改變。通過陽極化徽調(diào)可以精確調(diào)整電阻值，電阻誤差通
常不超過規(guī)定值的1%。在某些場(chǎng)合，誤差在整個(gè)電阻壽命范圍
內(nèi)將保持在0.05%以內(nèi)。和導(dǎo)體一樣，電阻曲折圖形的存活率取
決于其寬度和長(zhǎng)度。

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復(fù)雜的電路設(shè)計(jì)交迭是薄膜電路互連圖形的總連接,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)

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