近場光學顯微鏡的原理與構(gòu)造
一般光學顯微鏡于遠場觀測時,因受到光波的繞射限制,其解析度僅有數(shù)百納米左右
。但若在近場觀測時,可避免繞射及干涉的產(chǎn)生,能克服繞射限制,將解析度提升至
數(shù)十納米左右。
近場光學顯微鏡的結(jié)構(gòu)中,以末端背有數(shù)十納米口徑的錐狀光纖為探針。將探針和被
測物的距離精準控制在近場觀測范圍內(nèi),利用可精密定位與掃描探測的壓電陶瓷,并
配合原子力顯微鏡所提供的高度回饋控制系統(tǒng),進行三維空間近場掃描。再由光纖探
針接收或發(fā)射光學訊號,以獲得三維近場光學影像。
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