本文標(biāo)題：" 探討激光平面干涉儀在一些精密測(cè)量中的運(yùn)用"

發(fā)布者：YIYI ------ 分類(lèi): 技術(shù)文章 ------ 人瀏覽過(guò) -----時(shí)間：2014-9-16 10:10:3

 探討激光平面干涉儀在一些精密測(cè)量中的運(yùn)用

一、激光平面干涉儀可以通過(guò)幾何精度進(jìn)行檢測(cè)、可廣泛的用來(lái)檢

測(cè)線(xiàn)度、垂直度、俯仰跟偏擺、平面度、平行度等等

二、可以通過(guò)位置精度來(lái)檢測(cè)數(shù)控機(jī)床的床位精度、重復(fù)定位精度

、微量位移精度等等

比一般使用的方法節(jié)省了一大半的時(shí)間、為了防止手工計(jì)算跟手動(dòng)

數(shù)控鍵而產(chǎn)生的一些誤差、可以采用被測(cè)軸上面的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)、可以

使機(jī)床達(dá)到有效的精度

三、數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)和自動(dòng)補(bǔ)償、它不僅可以對(duì)任意的角

度的位置、任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)的測(cè)量、而且精度可以達(dá)到正

負(fù)1、它比原始用的自準(zhǔn)直儀跟多面體的方法不但更節(jié)省了大量的

測(cè)量時(shí)間、而且還得到了完整的回轉(zhuǎn)軸的精度的曲線(xiàn)。

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