本文標題：" 激光干涉儀的基本原理及用途、激光有哪三個重要特點"

激光干涉儀的基本原理及用途、激光有哪三個重要特點

激光干涉儀是主要對被測物體進行精密測量的一種精密測量的工具、激光干涉

儀一般采用激光來作為長度的基準、它廣泛的用于對數控設備、加工中心、三

次坐標測量機等等的位置精度、定位精度、重復定位精度、幾何精度、俯仰扭

擺角度、直線度、垂直度等一些精準度進行精密的測量。激光干涉儀一般都是

利用接收到的激光的明暗條紋的變化、然后再通過電子的細分、由此獲得距離

的細微跟準確的變化。如果在兩束光相位都相同的情況下、光波會更加增強、

則表現為亮條紋，如果兩束光相位在相反的情況下、光波則會互相排斥、則

表現為暗條紋。

一般激光波長相對比較穩(wěn)定、可以很容易的滿足精密測量的要求、激光波長

也響度比較短、測量的精準度會較高、同時激光還具有干涉的特點性能。

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