透射電子顯微鏡的基本構(gòu)造
透射電子顯微鏡是由電子光學(xué)系統(tǒng),真空系統(tǒng),供電控制系統(tǒng)。附加儀器系統(tǒng)四種裝置而構(gòu)成。
1,電子光學(xué)系統(tǒng)照明系統(tǒng),成像系統(tǒng),觀察記錄系統(tǒng)
2,真空系統(tǒng)一般負(fù)十的負(fù)五次方托,是由機(jī)械泵和擴(kuò)散泵完成新型電鏡使用離子泵來提高真空度,可達(dá)十的負(fù)八次方托
3,供電控制系統(tǒng)電子槍加速電子用小電流高壓電源透鏡激磁用大電流低壓電源
4,附加儀器系統(tǒng)EDS , WDS , EELS
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