掃描式電子顯微鏡的透鏡系統(tǒng)
透鏡系統(tǒng)中主要用的透鏡都是縮小透鏡,它的功能是將光斑縮小,縮小透鏡將電子槍發(fā)射的直徑三十微米的電子束縮成幾百分之一納米,它主要是由兩個(gè)聚光鏡與一個(gè)末透鏡所構(gòu)成,三個(gè)透鏡的總縮小率大約是兩千到三千倍。兩個(gè)聚光鏡分別束第一個(gè)聚光鏡與第二個(gè)聚光鏡可將在陽極孔附近產(chǎn)生的交叉點(diǎn)縮小。
物鏡有分別有兩個(gè)極靴,一個(gè)為上極靴,另一個(gè)為下極靴,它的材料是由純鐵與鐵鈷合金構(gòu)成極靴,并良好的具有
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